激光烧蚀装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780068659.2

申请日：

2017-10-20

公开(公告)号：

CN109937269A

公开(公告)日：

2019-06-25

发明(设计)人：

V.克科宁 M.西尔塔宁

申请人：

申请人地址：

芬兰坦佩雷

IPC主分类号：

C23C1428

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王增强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	授权	授权
2019-06-25	公开	公开
2019-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/28 申请日:20171020

共 50 条

[1]

进行激光烧蚀的方法和装置 [P].

A·N·布伦顿 .

中国专利 :CN113523579A ,2021-10-22

[2]

激光烧蚀 [P].

彼得·巴林 .

中国专利 :CN1478007A ,2004-02-25

[3]

激光烧蚀系统 [P].

A·V·洛博达 .

中国专利 :CN109791868A ,2019-05-21

[4]

交错激光烧蚀 [P].

K·L·吉林斯 .

中国专利 :CN211661335U ,2020-10-13

[5]

激光烧蚀单元 [P].

德特勒夫·巩特尔 ;

丹尼尔·格罗利蒙德 ;

浩·王 .

中国专利 :CN105324832A ,2016-02-10

[6]

激光烧蚀Al-PTFE反应材料的烧蚀深度和温度分布预测方法 [P].

吴建军 ;

欧阳 ;

张宇 ;

王墨戈 ;

李健 ;

郑鹏 ;

胡泽军 ;

赵元政 ;

李宇奇 .

中国专利 :CN115015313A ,2022-09-06

[7]

激光烧蚀抗蚀剂 [P].

S·E·飞利普 ;

T·J·崔威尔 ;

L·W·塔特 ;

G·T·皮尔斯 ;

K·恩古颜 ;

R·M·威克勒 .

中国专利 :CN101454720B ,2009-06-10

[8]

激光烧蚀Al-PTFE反应材料的烧蚀深度和温度分布预测方法 [P].

吴建军 ;

欧阳 ;

张宇 ;

王墨戈 ;

李健 ;

郑鹏 ;

胡泽军 ;

赵元政 ;

李宇奇 .

中国专利 :CN115015313B ,2024-05-10

[9]

激光烧蚀机 [P].

谢大浪 ;

黄运 ;

郑新民 ;

吕晨曦 ;

江军 ;

张伟胜 ;

尹建刚 ;

唐建刚 .

中国专利 :CN309485717S ,2025-09-09

[10]

激光烧蚀装置和制造显示设备的方法 [P].

金俊亨 ;

蔡永洙 ;

金佑玹 ;

李承俊 .

中国专利 :CN110893508A ,2020-03-20

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