学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

等离子体处理室

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980065528.8
申请日：
2019-09-27
公开(公告)号：
CN112805805A
公开(公告)日：
2021-05-14
发明(设计)人：
许临 托马斯·R·史蒂文森 格雷森·福特 萨蒂什·斯里尼瓦桑
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
上海胜康律师事务所 31263
代理人：
樊英如;张静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-10-22 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190927
2021-05-14 公开 公开
共 50 条
[1]
等离子体处理室 [P]. 
辻本宏 .
中国专利 :CN100440427C ,2007-04-04
[2]
对称等离子体处理室 [P]. 
詹姆斯·D·卡达希 ;
哈密迪·塔瓦索里 ;
阿吉特·巴拉克利斯纳 ;
陈智刚 ;
安德鲁·源 ;
道格拉斯·A·小布什伯格 ;
卡尔蒂克·贾亚拉曼 ;
沙希德·劳夫 ;
肯尼思·S·柯林斯 .
中国专利 :CN103050363A ,2013-04-17
[3]
对称等离子体处理室 [P]. 
詹姆斯·D·卡达希 ;
哈密迪·塔瓦索里 ;
阿吉特·巴拉克利斯纳 ;
陈智刚 ;
安德鲁·源 ;
道格拉斯·A·小布什伯格 ;
卡尔蒂克·贾亚拉曼 ;
沙希德·劳夫 ;
肯尼思·S·柯林斯 .
中国专利 :CN103050362A ,2013-04-17
[4]
对称等离子体处理室 [P]. 
詹姆斯·D·卡达希 ;
哈密迪·塔瓦索里 ;
阿吉特·巴拉克利斯纳 ;
陈智刚 ;
安德鲁·源 ;
道格拉斯·A·小布什伯格 ;
卡尔蒂克·贾亚拉曼 ;
沙希德·劳夫 ;
肯尼思·S·柯林斯 .
中国专利 :CN103094044A ,2013-05-08
[5]
对称等离子体处理室 [P]. 
詹姆斯·D·卡达希 ;
哈密迪·塔瓦索里 ;
阿吉特·巴拉克利斯纳 ;
陈智刚 ;
安德鲁·源 ;
道格拉斯·A·小布什伯格 ;
卡尔蒂克·贾亚拉曼 ;
沙希德·劳夫 ;
肯尼思·S·柯林斯 .
中国专利 :CN107516627A ,2017-12-26
[6]
对称等离子体处理室 [P]. 
詹姆斯·D·卡达希 ;
哈密迪·塔瓦索里 ;
阿吉特·巴拉克利斯纳 ;
陈智刚 ;
安德鲁·源 ;
道格拉斯·A·小布什伯格 ;
卡尔蒂克·贾亚拉曼 ;
沙希德·劳夫 ;
肯尼思·S·柯林斯 .
中国专利 :CN103035469B ,2013-04-10
[7]
对称等离子体处理室 [P]. 
詹姆斯·D·卡达希 ;
哈密迪·塔瓦索里 ;
阿吉特·巴拉克利斯纳 ;
陈智刚 ;
安德鲁·源 ;
道格拉斯·A·小布什伯格 ;
卡尔蒂克·贾亚拉曼 ;
沙希德·劳夫 ;
肯尼思·S·柯林斯 .
中国专利 :CN103094045A ,2013-05-08
[8]
用于低温等离子体处理室的放电等离子体烧结组件 [P]. 
许临 ;
萨蒂什·斯里尼瓦桑 ;
哈米特.辛格 ;
约翰·多尔蒂 ;
潘卡基·哈扎里卡 .
美国专利 :CN119054041A ,2024-11-29
[9]
用于等离子体处理腔室的等离子体屏 [P]. 
M·T·尼科尔斯 ;
I·尤瑟夫 ;
J·A·奥马利三世 ;
R·丁德萨 ;
S·E·巴巴扬 .
中国专利 :CN109643630A ,2019-04-16
[10]
等离子体处理腔室及用于等离子体处理腔室的环 [P]. 
艾伦·L·丹布拉 ;
舍什拉伊·L·图尔什巴瓦勒 .
中国专利 :CN208908212U ,2019-05-28
12345