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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20070309 授权公告日:20111207 终止日期:20200309 |
| 2009-07-01 | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人 变更前权利人:旭化成电子材料元件株式会社 变更后权利人:旭化成电子材料株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 登记生效日:20090605 |
| 2009-04-01 | 公开 | 公开 |
| 2009-05-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2011-12-07 | 授权 | 授权 |
| 2016-06-15 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101734019154 IPC(主分类):G03F 7/027 专利号:ZL2007800090843 登记生效日:20160523 变更事项:专利权人 变更前权利人:旭化成电子材料株式会社 变更后权利人:旭化成株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 |