感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010498797.8

申请日：

2014-12-26

公开(公告)号：

CN111596526A

公开(公告)日：

2020-08-28

发明(设计)人：

松田隆之

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F7075 G03F720 G03F7038 G03F7032 G03F7028 G03F7004 C08F26502 C08F22010 C08F248 C07C3915 H05K103

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体 [P].

松田隆之 .

中国专利 :CN105793778A ,2016-07-20

[2]

感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体 [P].

松田隆之 ;

西本秀昭 ;

藤原晶 .

中国专利 :CN108469717A ,2018-08-31

[3]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

田尻十南 ;

小坂隼也 ;

山田辉久 ;

国松真一 .

中国专利 :CN114667487A ,2022-06-24

[4]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

田尻十南 ;

小坂隼也 ;

山田辉久 ;

国松真一 .

日本专利 :CN114667487B ,2025-10-17

[5]

感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体以及保护图案形成方法 [P].

筒井大和 .

中国专利 :CN106918993A ,2017-07-04

[6]

感光性树脂层压体 [P].

小谷雄三 .

中国专利 :CN101401036A ,2009-04-01

[7]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

松田隆之 ;

西泽豪 ;

宫崎纯 .

中国专利 :CN109690404A ,2019-04-26

[8]

感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、及抗蚀图案的形成方法 [P].

宇野大介 ;

樱井隆觉 ;

西本秀昭 ;

松尾裕树 .

日本专利 :CN118541643A ,2024-08-23

[9]

感光性树脂组合物及层叠体 [P].

秦洋介 .

中国专利 :CN101652715A ,2010-02-17

[10]

抗蚀材料用感光性树脂组合物以及感光性树脂层压体 [P].

筒井大和 .

中国专利 :CN102549498A ,2012-07-04

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20141226
2020-08-28	公开	公开