图案测定方法、图案测定装置以及利用其的程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180050911.X

申请日：

2011-10-14

公开(公告)号：

CN103180690A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

笹岛二大木村嘉宏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1504

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴秋明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497322492 IPC(主分类):G01B 15/04 专利申请号:201180050911X 申请日:20111014
2013-06-26	公开	公开
2016-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

图案的偏差测定方法以及图案测定装置 [P].

酢谷拓路 ;

松冈良一 ;

诸熊秀俊 ;

杉山明之 ;

新藤博之 .

中国专利 :CN101135556B ,2008-03-05

[2]

图案尺寸测定装置和图案面积测定方法 [P].

松本纯 .

中国专利 :CN101523155A ,2009-09-02

[3]

测定装置、测定方法、以及测定程序 [P].

平野朝士 ;

樋口刚司 .

中国专利 :CN112261901A ,2021-01-22

[4]

测定装置、测定方法以及程序 [P].

石原元太郎 ;

松川弘明 .

日本专利 :CN118999783A ,2024-11-22

[5]

测定方法、测定装置以及程序 [P].

相川文明 ;

丸山泰右 ;

江波翔 .

日本专利 :CN119213288A ,2024-12-27

[6]

测定装置、测定方法以及程序 [P].

高地邦明 ;

村田寿子 ;

押领司诚 ;

春川阳一 ;

海和彻 ;

内田孝之 .

日本专利 :CN119212616A ,2024-12-27

[7]

测定装置、测定方法、以及程序 [P].

坂上智 ;

木代雅巳 ;

新井聪一 .

中国专利 :CN107278264A ,2017-10-20

[8]

测定装置、测定方法以及程序 [P].

北川雄真 ;

猿谷敏之 .

日本专利 :CN120721679A ,2025-09-30

[9]

沟槽图案的深度的测定方法和测定装置 [P].

山口真二 ;

堀江正浩 .

中国专利 :CN101131318A ,2008-02-27

[10]

测定系统、测定装置、测定方法以及程序 [P].

长冈英一 ;

胜田敏広 .

中国专利 :CN113227719A ,2021-08-06

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