沟槽图案的深度的测定方法和测定装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710140995.1

申请日：

2007-08-15

公开(公告)号：

CN101131318A

公开(公告)日：

2008-02-27

发明(设计)人：

山口真二堀江正浩

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G01B1122

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

徐恕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-27	公开	公开
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713288221 IPC(主分类):G01B 11/22 专利号:ZL2007101409951 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713288220 IPC(主分类):G01B 11/22 专利号:ZL2007101409951 变更事项:专利权人变更前:大日本网目版制造株式会社变更后:大日本网屏制造株式会社变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2008-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-12-23	授权	授权

共 50 条

[1]

图案的偏差测定方法以及图案测定装置 [P].

酢谷拓路 ;

松冈良一 ;

诸熊秀俊 ;

杉山明之 ;

新藤博之 .

中国专利 :CN101135556B ,2008-03-05

[2]

图案尺寸测定装置和图案面积测定方法 [P].

松本纯 .

中国专利 :CN101523155A ,2009-09-02

[3]

图案测定方法、图案测定装置以及利用其的程序 [P].

笹岛二大 ;

木村嘉宏 .

中国专利 :CN103180690A ,2013-06-26

[4]

抗原的测定方法和测定装置 [P].

宫泽雄弥 .

中国专利 :CN113728223A ,2021-11-30

[5]

测定装置以及测定装置的测定方法 [P].

大野祥希 .

日本专利 :CN119986675A ,2025-05-13

[6]

测定方法和测定装置 [P].

久保敬 ;

杉田吉平 ;

岛津悠平 .

中国专利 :CN115580974A ,2023-01-06

[7]

测定方法和测定装置 [P].

三村勇之 ;

鹤田茂登 ;

真锅英二 ;

日诘久则 .

日本专利 :CN111989763B ,2024-08-02

[8]

测定方法和测定装置 [P].

三村勇之 ;

鹤田茂登 ;

真锅英二 ;

日诘久则 .

中国专利 :CN111989763A ,2020-11-24

[9]

测定方法和测定装置 [P].

兼田悠 ;

中谷彩乃 .

中国专利 :CN109406591A ,2019-03-01

[10]

测定装置和测定方法 [P].

小栗一之 ;

远藤知弘 ;

川田秀信 ;

近藤靖志 ;

村中武 .

中国专利 :CN103354906B ,2013-10-16

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