一种光学邻近校正模型的建模方法及建模系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011359576.9

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN112180677A

公开(公告)日：

2021-01-05

发明(设计)人：

刘秀梅罗招龙魏来赵广王康

申请人：

申请人地址：

102199 北京市大兴区经济技术开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-C54

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

朱艳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-05	公开	公开
2021-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20201127
2021-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光学邻近校正建模方法及其系统 [P].

姚淼红 ;

徐世斌 ;

张馨元 ;

颜哲钜 ;

李翰轩 ;

高大为 ;

吴永玉 ;

任堃 .

中国专利 :CN119292010B ,2025-05-13

[2]

一种光学邻近校正建模方法及其系统 [P].

姚淼红 ;

徐世斌 ;

张馨元 ;

颜哲钜 ;

李翰轩 ;

高大为 ;

吴永玉 ;

任堃 .

中国专利 :CN119292010A ,2025-01-10

[3]

一种光学邻近校正模型的建模方法、使用方法及相关装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118068662B ,2024-07-23

[4]

一种光学邻近校正模型的建模方法、使用方法及相关装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118068662A ,2024-05-24

[5]

一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备 [P].

王康 ;

罗招龙 .

中国专利 :CN120315261B ,2025-08-19

[6]

一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备 [P].

王康 ;

罗招龙 .

中国专利 :CN120315261A ,2025-07-15

[7]

光学邻近校正模型的训练方法、装置及光学邻近校正方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115509082A ,2022-12-23

[8]

光学邻近校正方法及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

杜杳隽 ;

沈泫 .

中国专利 :CN110221513B ,2019-09-10

[9]

光学邻近校正方法以及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

程仁强 ;

王辉 .

中国专利 :CN104977797B ,2015-10-14

[10]

校正光学邻近校正模型的方法 [P].

黄宜斌 .

中国专利 :CN103472672A ,2013-12-25

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