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光学邻近校正模型的训练方法、装置及光学邻近校正方法

被引：0
申请号：
CN202211395502.X
申请日：
2022-11-09
公开(公告)号：
CN115509082A
公开(公告)日：
2022-12-23
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
311113 浙江省杭州市余杭区良渚街道金昌路2008、2010号2幢4311室
IPC主分类号：
G03F136
IPC分类号：
G03F720 G06N304 G06N306 G06N308 G06V10764
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
吴娟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-23 公开 公开
2023-01-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20221109
共 50 条
[1]
光学邻近校正方法及优化光学邻近校正模型的方法 [P]. 
杜杳隽 ;
沈泫 .
中国专利 :CN110221513B ,2019-09-10
[2]
光学邻近校正方法以及优化光学邻近校正模型的方法 [P]. 
程仁强 ;
王辉 .
中国专利 :CN104977797B ,2015-10-14
[3]
光学邻近校正模型的校正方法 [P]. 
王辉 ;
时雪龙 .
中国专利 :CN103631085A ,2014-03-12
[4]
光学邻近修正的蚀刻模型训练方法及光学邻近修正方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN115457350A ,2022-12-09
[5]
光学邻近校正方法 [P]. 
杜杳隽 ;
李亮 .
中国专利 :CN113759657A ,2021-12-07
[6]
光学邻近校正方法 [P]. 
时雪龙 ;
赵宇航 ;
陈寿面 ;
李铭 .
中国专利 :CN107797391B ,2018-03-13
[7]
光学邻近校正方法 [P]. 
杜杳隽 ;
李亮 .
中国专利 :CN113759657B ,2024-05-03
[8]
光学邻近校正方法 [P]. 
董明 .
中国专利 :CN112415847A ,2021-02-26
[9]
光学邻近校正方法 [P]. 
张飞 .
中国专利 :CN101750878B ,2010-06-23
[10]
光学邻近校正方法 [P]. 
周从树 .
中国专利 :CN101995763A ,2011-03-30
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