光学邻近校正模型的校正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210313494.X

申请日：

2012-08-29

公开(公告)号：

CN103631085A

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

王辉时雪龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-31	授权	授权
2014-03-12	公开	公开
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581309889 IPC(主分类):G03F 1/36 专利申请号:201210313494X 申请日:20120829

共 50 条

[1]

校正光学邻近校正模型的方法 [P].

黄宜斌 .

中国专利 :CN103472672A ,2013-12-25

[2]

光学邻近校正方法及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

杜杳隽 ;

沈泫 .

中国专利 :CN110221513B ,2019-09-10

[3]

光学邻近校正方法以及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

程仁强 ;

王辉 .

中国专利 :CN104977797B ,2015-10-14

[4]

光学邻近校正方法 [P].

董明 .

中国专利 :CN112415847A ,2021-02-26

[5]

光学邻近校正方法 [P].

张飞 .

中国专利 :CN101750878B ,2010-06-23

[6]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657A ,2021-12-07

[7]

光学邻近校正方法 [P].

李亮 ;

杜杳隽 ;

陈啸 .

中国专利 :CN108663897A ,2018-10-16

[8]

光学邻近校正方法 [P].

时雪龙 ;

赵宇航 ;

陈寿面 ;

李铭 .

中国专利 :CN107797391B ,2018-03-13

[9]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657B ,2024-05-03

[10]

光学邻近校正方法 [P].

朴世镇 .

中国专利 :CN102096309B ,2011-06-15

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