光学邻近校正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710200670.1

申请日：

2017-03-29

公开(公告)号：

CN108663897A

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

李亮杜杳隽陈啸

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-08	授权	授权
2018-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20170329
2018-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近校正方法 [P].

董明 .

中国专利 :CN112415847A ,2021-02-26

[2]

光学邻近校正方法 [P].

张飞 .

中国专利 :CN101750878B ,2010-06-23

[3]

光学邻近校正方法 [P].

周从树 .

中国专利 :CN101995763A ,2011-03-30

[4]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657A ,2021-12-07

[5]

光学邻近校正方法 [P].

时雪龙 ;

赵宇航 ;

陈寿面 ;

李铭 .

中国专利 :CN107797391B ,2018-03-13

[6]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657B ,2024-05-03

[7]

光学邻近校正方法 [P].

朴世镇 .

中国专利 :CN102096309B ,2011-06-15

[8]

光学邻近校正方法及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

杜杳隽 ;

沈泫 .

中国专利 :CN110221513B ,2019-09-10

[9]

光学邻近校正方法以及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

程仁强 ;

王辉 .

中国专利 :CN104977797B ,2015-10-14

[10]

光学邻近校正模型的校正方法 [P].

王辉 ;

时雪龙 .

中国专利 :CN103631085A ,2014-03-12

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