光学邻近校正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711070108.8

申请日：

2017-11-03

公开(公告)号：

CN107797391B

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

时雪龙赵宇航陈寿面李铭

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F136

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陈慧弘

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171103
2018-03-13	公开	公开
2020-04-24	授权	授权

共 50 条

[1]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657A ,2021-12-07

[2]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657B ,2024-05-03

[3]

光学邻近校正方法 [P].

董明 .

中国专利 :CN112415847A ,2021-02-26

[4]

光学邻近校正方法 [P].

张飞 .

中国专利 :CN101750878B ,2010-06-23

[5]

光学邻近校正方法 [P].

周从树 .

中国专利 :CN101995763A ,2011-03-30

[6]

光学邻近校正方法 [P].

李亮 ;

杜杳隽 ;

陈啸 .

中国专利 :CN108663897A ,2018-10-16

[7]

光学邻近校正方法 [P].

朴世镇 .

中国专利 :CN102096309B ,2011-06-15

[8]

光学邻近校正模型的训练方法、装置及光学邻近校正方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115509082A ,2022-12-23

[9]

光学邻近校正方法及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

杜杳隽 ;

沈泫 .

中国专利 :CN110221513B ,2019-09-10

[10]

光学邻近校正方法以及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

程仁强 ;

王辉 .

中国专利 :CN104977797B ,2015-10-14

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