基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080037700.1

申请日：

2020-05-20

公开(公告)号：

CN113853275A

公开(公告)日：

2021-12-28

发明(设计)人：

鸟越恒男畠山雅规中迂良

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37005

IPC分类号：

B24B3720 B24B3734 B24B4900 B24B5100 B24B5702

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20200520
2021-12-28	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置及信息处理系统 [P].

铃木佑多 ;

高桥广毅 ;

中村显 ;

渡边和英 ;

松尾尚典 ;

神子岛隆仁 .

日本专利 :CN117501414A ,2024-02-02

[2]

自主基板处理系统 [P].

P·潘达 ;

连磊 ;

韩鹏昱 ;

T·J·伊根 ;

P·阿吉 ;

E·莫 ;

A·J·汤姆 ;

L·M·泰德斯奇 .

美国专利 :CN118522667A ,2024-08-20

[3]

自主基板处理系统 [P].

P·潘达 ;

连磊 ;

韩鹏昱 ;

T·J·伊根 ;

P·阿吉 ;

E·莫 ;

A·J·汤姆 ;

L·M·泰德斯奇 .

美国专利 :CN116802780B ,2024-05-31

[4]

信息处理方法、信息处理装置、以及基板处理系统 [P].

齐藤友贵哉 ;

片冈勇树 .

日本专利 :CN117882170A ,2024-04-12

[5]

支援装置、支援方法、基板处理系统及存储介质 [P].

池内崇 ;

佐野雄大 .

日本专利 :CN117763212A ,2024-03-26

[6]

基板处理装置以及基板处理系统 [P].

桥本光治 ;

清水进二 ;

堀口博司 ;

山本真弘 .

日本专利 :CN118969676A ,2024-11-15

[7]

基板处理装置以及基板处理系统 [P].

桥本光治 ;

清水进二 ;

堀口博司 ;

山本真弘 .

中国专利 :CN112400214A ,2021-02-23

[8]

基板处理装置以及基板处理系统 [P].

桥本光治 ;

清水进二 ;

堀口博司 ;

山本真弘 .

日本专利 :CN112400214B ,2024-08-20

[9]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理系统 [P].

渡边敏史 ;

山本晓 ;

町田优 .

中国专利 :CN108705383A ,2018-10-26

[10]

基板处理系统 [P].

絏竣淏 .

中国专利 :CN106298589A ,2017-01-04

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