蚀刻液回收系统与方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510003670.X

申请日：

2005-01-07

公开(公告)号：

CN1645574A

公开(公告)日：

2005-07-27

发明(设计)人：

刘家彰李玮华吴明杰

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹市

IPC主分类号：

H01L213213

IPC分类号：

C23F116 C23F100 B01J1900

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李晓舒;魏晓刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-11-05	授权	授权
2005-07-27	公开	公开
2021-12-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3213 申请日:20050107 授权公告日:20081105 终止日期:20210107

共 50 条

[1]

蚀刻液循环回收系统 [P].

王劲 ;

张志明 ;

林立明 ;

文曙光 ;

吴丽琼 .

中国专利 :CN204570047U ,2015-08-19

[2]

酸性蚀刻液再生回收系统 [P].

明果英 ;

周军 ;

赵建成 ;

张勇 .

中国专利 :CN202610332U ,2012-12-19

[3]

微蚀刻液再生回收系统 [P].

明果英 ;

周军 ;

刘红江 ;

张勇 .

中国专利 :CN202359203U ,2012-08-01

[4]

铬蚀刻液、铬蚀刻液的制备方法及铬蚀刻液的回收方法 [P].

童晨 ;

吴海燕 ;

陈桂红 ;

孙元 ;

韩成强 .

中国专利 :CN116162935B ,2024-08-20

[5]

与蚀刻机联机运行的酸性蚀刻液在线电解再生回收系统 [P].

赵国鹏 ;

胡耀红 ;

钟洪胜 ;

徐海清 ;

袁国伟 ;

陈力格 ;

罗慧梅 .

中国专利 :CN203846109U ,2014-09-24

[6]

蚀刻液的处理方法与系统 [P].

宋宏凯 ;

萧世旻 ;

蔡嘉峰 .

中国专利 :CN100590212C ,2008-07-23

[7]

酸性蚀刻液再生及铜回收系统 [P].

杨桂林 ;

乔志华 ;

陈祎光 .

中国专利 :CN202499910U ,2012-10-24

[8]

碱性蚀刻液再生及铜回收系统 [P].

杨桂林 ;

乔志华 ;

陈祎光 .

中国专利 :CN202499908U ,2012-10-24

[9]

一种蚀刻液铜回收系统及方法 [P].

刘剑锋 ;

周国立 ;

黎亿贵 ;

刘剑波 .

中国专利 :CN109023376A ,2018-12-18

[10]

钛电极蚀刻液的草酸回收系统 [P].

陈星宏 ;

冯武科 .

中国专利 :CN205603681U ,2016-09-28

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