蚀刻液的处理方法与系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710000980.5

申请日：

2007-01-17

公开(公告)号：

CN100590212C

公开(公告)日：

2008-07-23

发明(设计)人：

宋宏凯萧世旻蔡嘉峰

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市西滨路六段599号

IPC主分类号：

C22B700

IPC分类号：

C22B1100 C01B714 C02F170 C02F172 C23F110

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周长兴

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-23	公开	公开
2010-02-17	授权	授权
2012-03-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101211509993 IPC(主分类):C22B 7/00 专利号:ZL2007100009805 申请日:20070117 授权公告日:20100217 终止日期:20110117
2008-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

一种碱性蚀刻液处理方法 [P].

王共海 ;

蔡小辉 ;

于永辉 ;

李国春 ;

王立华 ;

刘善政 .

中国专利 :CN111549349A ,2020-08-18

[2]

蚀刻系统及其蚀刻液处理方法 [P].

张宏隆 ;

吕泓岳 .

中国专利 :CN100399518C ,2005-12-28

[3]

蚀刻液回收系统与方法 [P].

刘家彰 ;

李玮华 ;

吴明杰 .

中国专利 :CN1645574A ,2005-07-27

[4]

蚀刻液组合物与蚀刻方法 [P].

牛台宾 .

中国专利 :CN101245462A ,2008-08-20

[5]

蚀刻液的再生方法、蚀刻方法和蚀刻系统 [P].

伊豆田信彦 ;

村田贡 .

中国专利 :CN100336182C ,2004-05-12

[6]

蚀刻液的处理装置以及处理方法 [P].

小森英之 ;

织田信博 .

中国专利 :CN102356454A ,2012-02-15

[7]

蚀刻液循环处理系统及方法 [P].

周小兵 .

中国专利 :CN103741143A ,2014-04-23

[8]

蚀刻液、该蚀刻液的制造方法和使用该蚀刻液的蚀刻方法 [P].

河野良 ;

加藤胜 .

中国专利 :CN103132078A ,2013-06-05

[9]

蚀刻系统及蚀刻液再生方法 [P].

郑建邦 .

中国专利 :CN102061473A ,2011-05-18

[10]

用于铜或铜合金的蚀刻液、蚀刻前处理液及蚀刻方法 [P].

加藤真 ;

丰田裕二 ;

中川邦弘 ;

石田麻里子 ;

金田安生 .

中国专利 :CN101910468B ,2010-12-08

← 1 2 3 4 5 →