激光直写技术制备多级结构微阵列的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110009205.2

申请日：

2011-01-17

公开(公告)号：

CN102096318A

公开(公告)日：

2011-06-15

发明(设计)人：

于敏浦东林耿路峰陈林森戴振东

申请人：

申请人地址：

210016 江苏省南京市白下区御道街29号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

G03F730 G03F720

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

叶连生

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-15	公开	公开
2012-05-23	授权	授权
2020-01-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20110117 授权公告日:20120523 终止日期:20190117
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效专利申请号:2011100092052 申请日:20110117 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096112226 IPC(主分类):G03F 7/00

共 50 条

[1]

一种基于激光直写钼片制备碳化钼纳米微阵列的方法 [P].

周伟家 ;

袁海凤 ;

赵莉莉 ;

刘晓燕 ;

董天娇 .

中国专利 :CN113136596B ,2021-07-20

[2]

毫秒激光直写技术合成Ni掺杂FeOOH/NF的制备方法及应用 [P].

杨静 ;

冯婷 ;

杜希文 .

中国专利 :CN110898838B ,2020-03-24

[3]

一种利用激光直写快速制备胶体光子晶体阵列芯片的方法 [P].

张利静 ;

刘博帆 ;

杨文博 ;

杨琳 ;

陶胜洋 .

中国专利 :CN111929991A ,2020-11-13

[4]

一种基于激光直写技术的无墨打印方法 [P].

陈修涛 ;

高明 ;

韩非 ;

董辉 .

中国专利 :CN115056580A ,2022-09-16

[5]

一种基于激光直写技术的微液滴操控方法 [P].

王萌 ;

邢飞 ;

郭传飞 ;

刘前 ;

阮双琛 .

中国专利 :CN107937915B ,2018-04-20

[6]

一种利用激光直写技术构建3D微纳通道结构的方法 [P].

吴苏州 ;

杨高洁 ;

李晓云 .

中国专利 :CN110641014A ,2020-01-03

[7]

基于激光直写的多组分掺杂超级电容器电极及其制备方法 [P].

周兴汶 ;

王艺菲 ;

路羽 ;

高紫妍 ;

孙茜 ;

陈立国 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN119170420A ,2024-12-20

[8]

一种基于激光直写光刻技术的微棱镜阵列制造方法 [P].

栾世奕 ;

桂成群 ;

宋毅 ;

薛兆丰 .

中国专利 :CN114325902A ,2022-04-12

[9]

一种基于激光直写光刻技术的微棱镜阵列制造方法 [P].

栾世奕 ;

桂成群 ;

宋毅 ;

薛兆丰 .

中国专利 :CN114325902B ,2024-07-19

[10]

一种激光直写制备纳米微针模板的方法 [P].

史强 ;

胡海龙 .

中国专利 :CN111660558A ,2020-09-15

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