一种利用激光直写快速制备胶体光子晶体阵列芯片的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010797916.X

申请日：

2020-08-10

公开(公告)号：

CN111929991A

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

张利静刘博帆杨文博杨琳陶胜洋

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

C30B3302 C30B2958 C30B2964

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

周莹;李馨

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20201113
2020-11-13	公开	公开
2020-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200810

共 50 条

[1]

胶体光子晶体阵列芯片及构建方法和应用 [P].

胡广艳 ;

欧钢 ;

孙鹏跃 ;

楼生强 ;

黄仰博 ;

于美婷 ;

张书政 ;

龚碧 .

中国专利 :CN120294909A ,2025-07-11

[2]

胶体光子晶体阵列芯片及构建方法和应用 [P].

胡广艳 ;

欧钢 ;

孙鹏跃 ;

楼生强 ;

黄仰博 ;

于美婷 ;

张书政 ;

龚碧 .

中国专利 :CN120294909B ,2025-08-22

[3]

一种掩膜辅助光子晶体阵列制备的方法 [P].

张彤 ;

陈琳 ;

王智勇 ;

袁艳萍 .

中国专利 :CN120255269A ,2025-07-04

[4]

基于激光直写光刻机制备光子晶体的方法 [P].

韦联福 ;

刘洋 ;

欧阳鹏辉 ;

和穗荣 ;

王翼卓 ;

李玉芬 ;

柳红英 .

中国专利 :CN115047724A ,2022-09-13

[5]

球形胶体光子晶体的制备方法 [P].

叶常青 .

中国专利 :CN108048912A ,2018-05-18

[6]

自支撑的胶体光子晶体膜的制备方法 [P].

李志荣 ;

王京霞 ;

黄羽 ;

宋延林 .

中国专利 :CN101934267B ,2011-01-05

[7]

一种胶体光子晶体墨水、一种胶体光子晶体结构色及其制备方法 [P].

葛孔禹 ;

冯欢欢 ;

高逸凡 ;

易鸿宇 ;

张真 ;

李战 .

中国专利 :CN118240423A ,2024-06-25

[8]

可控梯度的胶体光子晶体的制备方法 [P].

张刚 ;

陈俊波 ;

黄贺 .

中国专利 :CN102718912A ,2012-10-10

[9]

一种弯折不变色的胶体光子晶体薄膜及图案化的胶体光子晶体薄膜的制备方法 [P].

李垚 ;

潘梦瑶 ;

赵九蓬 ;

潘磊 ;

徐洪波 ;

豆书亮 ;

张翔 .

中国专利 :CN110983423B ,2020-04-10

[10]

激光直写技术制备多级结构微阵列的方法 [P].

于敏 ;

浦东林 ;

耿路峰 ;

陈林森 ;

戴振东 .

中国专利 :CN102096318A ,2011-06-15

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