一种掩膜辅助光子晶体阵列制备的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510567488.4

申请日：

2025-04-30

公开(公告)号：

CN120255269A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

张彤陈琳王智勇袁艳萍

申请人：

北京工业大学

申请人地址：

100124 北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G02B1/00 G03F7/20

代理机构：

北京汇信合知识产权代理有限公司 11335

代理人：

林聪源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20250430
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种利用激光直写快速制备胶体光子晶体阵列芯片的方法 [P].

张利静 ;

刘博帆 ;

杨文博 ;

杨琳 ;

陶胜洋 .

中国专利 :CN111929991A ,2020-11-13

[2]

光子晶体薄膜的制备方法 [P].

叶常青 .

中国专利 :CN107934971A ,2018-04-20

[3]

一种光子晶体多层膜的制备方法 [P].

韩培德 ;

张雪 ;

张彩丽 ;

王丽萍 ;

张竹霞 ;

李玉平 .

中国专利 :CN102358936A ,2012-02-22

[4]

自支撑的胶体光子晶体膜的制备方法 [P].

李志荣 ;

王京霞 ;

黄羽 ;

宋延林 .

中国专利 :CN101934267B ,2011-01-05

[5]

一种制备光子晶体的方法 [P].

蓝鼎 ;

王育人 ;

张荫民 .

中国专利 :CN100395377C ,2007-03-28

[6]

一种光子晶体光纤 [P].

惠战强 ;

冼碧迎 ;

赵峰 ;

巩稼民 ;

韩东东 ;

葛海波 .

中国专利 :CN115291319B ,2024-03-26

[7]

一种光子晶体的制备方法以及由该方法制备的光子晶体 [P].

李亚楠 ;

杨强 ;

李明珠 ;

宋延林 .

中国专利 :CN106908898A ,2017-06-30

[8]

一种光子晶体膜及其制备方法和应用 [P].

陈明清 ;

张菱素 ;

肖鑫 ;

施冬健 ;

倪忠斌 ;

东为富 ;

张洪吉 .

中国专利 :CN115616686A ,2023-01-17

[9]

一种自清洁光子晶体膜及其制备方法 [P].

田宇 ;

毕威龙 ;

唐安 .

中国专利 :CN118580439A ,2024-09-03

[10]

一种复合掩膜版的制备方法 [P].

姚琪 ;

赵伍 ;

吴界煌 ;

莊孟儒 ;

蒋畅 ;

蔡姬妹 .

中国专利 :CN115961314B ,2025-09-02

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