基于激光直写光刻机制备光子晶体的方法

被引：0

申请号：

CN202210673849.X

申请日：

2022-06-15

公开(公告)号：

CN115047724A

公开(公告)日：

2022-09-13

发明(设计)人：

韦联福刘洋欧阳鹏辉和穗荣王翼卓李玉芬柳红英

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市二环路北一段

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F738

代理机构：

北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678

代理人：

刘新桐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220615
2022-09-13	公开	公开

共 50 条

[1]

利用激光直写光刻机制作约瑟夫森结的方法 [P].

王翼卓 ;

欧阳鹏辉 ;

柴亚强 ;

高海燕 ;

常鸿 ;

韦联福 .

中国专利 :CN115047723A ,2022-09-13

[2]

基于光子筛的激光直写光刻系统 [P].

蒋文波 ;

胡松 ;

赵立新 ;

邢薇 ;

杨勇 ;

严伟 ;

周绍林 ;

陈旺富 ;

徐锋 ;

张博 .

中国专利 :CN101561637A ,2009-10-21

[3]

激光直写光刻机 [P].

刘杨 ;

周俊晨 .

中国专利 :CN309205097S ,2025-03-28

[4]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[5]

光子筛直写光刻机操作控制柜 [P].

杨春利 ;

严伟 ;

陈磊 ;

王淑蓉 ;

邢薇 .

中国专利 :CN302030772S ,2012-08-08

[6]

激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构及其制备方法 [P].

陈林森 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

朱鹏飞 ;

乔文 ;

朱昊枢 ;

刘晓宁 ;

邵仁锦 ;

杨颖 .

中国专利 :CN112684677A ,2021-04-20

[7]

振镜式激光直写光刻机 [P].

郝春宁 ;

徐文东 ;

范永涛 ;

刘前 .

中国专利 :CN102495534B ,2012-06-13

[8]

用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质 [P].

姜蔚然 ;

谢鹍 ;

穆璐 .

中国专利 :CN118466127A ,2024-08-09

[9]

激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构 [P].

陈林森 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

朱鹏飞 ;

乔文 ;

朱昊枢 ;

刘晓宁 ;

邵仁锦 ;

杨颖 .

中国专利 :CN113515021A ,2021-10-19

[10]

量产型激光直写光刻机及其控制方法 [P].

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN113031404A ,2021-06-25

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