激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110667771.6

申请日：

2021-03-12

公开(公告)号：

CN113515021A

公开(公告)日：

2021-10-19

发明(设计)人：

陈林森浦东林张瑾朱鸣朱鹏飞乔文朱昊枢刘晓宁邵仁锦杨颖

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区新昌路68号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G06T1700

代理机构：

苏州简理知识产权代理有限公司 32371

代理人：

庞聪雅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-19	公开	公开
2021-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210312

共 50 条

[1]

激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构及其制备方法 [P].

陈林森 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

朱鹏飞 ;

乔文 ;

朱昊枢 ;

刘晓宁 ;

邵仁锦 ;

杨颖 .

中国专利 :CN112684677A ,2021-04-20

[2]

利用激光直写光刻机制作约瑟夫森结的方法 [P].

王翼卓 ;

欧阳鹏辉 ;

柴亚强 ;

高海燕 ;

常鸿 ;

韦联福 .

中国专利 :CN115047723A ,2022-09-13

[3]

基于激光直写光刻机制备光子晶体的方法 [P].

韦联福 ;

刘洋 ;

欧阳鹏辉 ;

和穗荣 ;

王翼卓 ;

李玉芬 ;

柳红英 .

中国专利 :CN115047724A ,2022-09-13

[4]

基于三维激光直写的4D微纳打印方法 [P].

黄天云 ;

段慧玲 .

中国专利 :CN108481734A ,2018-09-04

[5]

激光直写微纳图形结构的方法 [P].

顿爱欢 ;

魏劲松 ;

干福熹 .

中国专利 :CN101914756A ,2010-12-15

[6]

激光直写薄膜和激光直写微纳图形的方法 [P].

顿爱欢 ;

魏劲松 ;

干福熹 .

中国专利 :CN101892461A ,2010-11-24

[7]

利用激光直写制备三维中空微纳米功能结构的方法 [P].

顾长志 ;

牟佳佳 ;

李家方 ;

李无瑕 ;

姜倩晴 .

中国专利 :CN103011058A ,2013-04-03

[8]

利用微纳光纤进行直写光刻的方法 [P].

田丰 ;

白剑 ;

杨国光 ;

徐建峰 ;

梁宜勇 .

中国专利 :CN101424880A ,2009-05-06

[9]

电动升降门（三维激光直写设备） [P].

史强 ;

张俊 ;

张兴升 .

中国专利 :CN308567791S ,2024-04-09

[10]

用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质 [P].

姜蔚然 ;

谢鹍 ;

穆璐 .

中国专利 :CN118466127A ,2024-08-09

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