激光直写微纳图形结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010217742.1

申请日：

2010-07-02

公开(公告)号：

CN101914756A

公开(公告)日：

2010-12-15

发明(设计)人：

顿爱欢魏劲松干福熹

申请人：

申请人地址：

201800 上海市800-211邮政信箱

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1454 C23C1458

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101675755796 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2010102177421 申请日:20100702 授权公告日:20121010 终止日期:20150702
2012-10-10	授权	授权
2011-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101035088918 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2010102177421 申请日:20100702
2010-12-15	公开	公开

共 50 条

[1]

激光直写薄膜和激光直写微纳图形的方法 [P].

顿爱欢 ;

魏劲松 ;

干福熹 .

中国专利 :CN101892461A ,2010-11-24

[2]

激光直写烧结微纳电子电路的方法 [P].

汤申申 .

中国专利 :CN117794086A ,2024-03-29

[3]

一种激光直写相变材料的太赫兹微纳结构及其制备方法 [P].

李培宁 ;

曾颖 ;

卢敦柱 .

中国专利 :CN115125487B ,2022-09-30

[4]

一种激光直写微纳结构制造可折叠玻璃的方法 [P].

张继红 ;

崔楷敏 ;

邓芷盈 ;

谢俊 ;

韩建军 .

中国专利 :CN114772940A ,2022-07-22

[5]

激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构 [P].

陈林森 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

朱鹏飞 ;

乔文 ;

朱昊枢 ;

刘晓宁 ;

邵仁锦 ;

杨颖 .

中国专利 :CN113515021A ,2021-10-19

[6]

利用微纳光纤进行直写光刻的方法 [P].

田丰 ;

白剑 ;

杨国光 ;

徐建峰 ;

梁宜勇 .

中国专利 :CN101424880A ,2009-05-06

[7]

激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构及其制备方法 [P].

陈林森 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

朱鹏飞 ;

乔文 ;

朱昊枢 ;

刘晓宁 ;

邵仁锦 ;

杨颖 .

中国专利 :CN112684677A ,2021-04-20

[8]

一种利用激光直写技术构建3D微纳通道结构的方法 [P].

吴苏州 ;

杨高洁 ;

李晓云 .

中国专利 :CN110641014A ,2020-01-03

[9]

一种基于单波长双光束的激光直写微纳结构的系统和方法 [P].

曹耀宇 ;

谢飞 ;

宋世超 .

中国专利 :CN110554577B ,2019-12-10

[10]

一种基于激光直写制版的微纳图文处理装置 [P].

余荫俊 ;

孙矾 ;

孙瑞良 ;

吕登 .

中国专利 :CN220296185U ,2024-01-05

← 1 2 3 4 5 →