光子筛直写光刻机操作控制柜

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201130425873.4

申请日：

2011-11-18

公开(公告)号：

CN302030772S

公开(公告)日：

2012-08-08

发明(设计)人：

杨春利严伟陈磊王淑蓉邢薇

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市成都市双流350信箱

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

关玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-08	授权	授权
2017-01-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101695933574 主分类号:15-99 专利号:ZL2011304258734 申请日:20111118 授权公告日:20120808 终止日期:20151118

共 50 条

[1]

激光直写光刻机 [P].

刘杨 ;

周俊晨 .

中国专利 :CN309205097S ,2025-03-28

[2]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[3]

控制直写式光刻机的方法和直写式光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN113934115A ,2022-01-14

[4]

晶圆级直写光刻机 [P].

刘杨 ;

何伟欣 ;

刘世林 ;

王方江 .

中国专利 :CN308451788S ,2024-02-02

[5]

基于光子筛的激光直写光刻系统 [P].

蒋文波 ;

胡松 ;

赵立新 ;

邢薇 ;

杨勇 ;

严伟 ;

周绍林 ;

陈旺富 ;

徐锋 ;

张博 .

中国专利 :CN101561637A ,2009-10-21

[6]

丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机 [P].

于成信 .

中国专利 :CN117706879A ,2024-03-15

[7]

基于激光直写光刻机制备光子晶体的方法 [P].

韦联福 ;

刘洋 ;

欧阳鹏辉 ;

和穗荣 ;

王翼卓 ;

李玉芬 ;

柳红英 .

中国专利 :CN115047724A ,2022-09-13

[8]

控制直写光刻机曝光的方法、装置和光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN111367147B ,2020-07-03

[9]

用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质 [P].

姜蔚然 ;

谢鹍 ;

穆璐 .

中国专利 :CN118466127A ,2024-08-09

[10]

直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机 [P].

王超 ;

梅文辉 ;

赵美云 ;

邵德洋 .

中国专利 :CN119556532A ,2025-03-04

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