激光直写光刻机

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202430359676.4

申请日：

2024-06-13

公开(公告)号：

CN309205097S

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

刘杨周俊晨

申请人：

无锡影速半导体科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市无锡新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层

IPC主分类号：

15-09

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-28	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[2]

振镜式激光直写光刻机 [P].

郝春宁 ;

徐文东 ;

范永涛 ;

刘前 .

中国专利 :CN102495534B ,2012-06-13

[3]

一种小型激光直写光刻机 [P].

李春 ;

李智斌 ;

兰长勇 ;

周智飞 ;

何天应 .

中国专利 :CN108681210A ,2018-10-19

[4]

量产型激光直写光刻机及其控制方法 [P].

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN113031404A ,2021-06-25

[5]

晶圆级直写光刻机 [P].

刘杨 ;

何伟欣 ;

刘世林 ;

王方江 .

中国专利 :CN308451788S ,2024-02-02

[6]

量产型双面激光直写光刻机及其控制方法 [P].

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN113031405A ,2021-06-25

[7]

激光直写光刻机台框开合机构 [P].

刘保华 .

中国专利 :CN118707814A ,2024-09-27

[8]

激光直写光刻机台框开合机构 [P].

刘保华 .

中国专利 :CN118707814B ,2025-02-07

[9]

光子筛直写光刻机操作控制柜 [P].

杨春利 ;

严伟 ;

陈磊 ;

王淑蓉 ;

邢薇 .

中国专利 :CN302030772S ,2012-08-08

[10]

一种双面卷对卷激光直写光刻机 [P].

刘保华 .

中国专利 :CN119126503A ,2024-12-13

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