激光直写光刻机台框开合机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411050484.0

申请日：

2024-08-01

公开(公告)号：

CN118707814B

公开(公告)日：

2025-02-07

发明(设计)人：

刘保华

申请人：

苏州建高远微电子设备科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇元丰路232号4号房

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

苏州优博知识产权代理事务所(普通合伙) 32487

代理人：

夏志杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-27	公开	公开
2024-10-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240801
2025-02-07	授权	授权

共 50 条

[1]

激光直写光刻机台框开合机构 [P].

刘保华 .

中国专利 :CN118707814A ,2024-09-27

[2]

激光直写光刻机 [P].

刘杨 ;

周俊晨 .

中国专利 :CN309205097S ,2025-03-28

[3]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[4]

激光直写光刻机的可抽出上掀式台框机构 [P].

刘保华 ;

徐小龙 ;

管燕彬 .

中国专利 :CN222529647U ,2025-02-25

[5]

振镜式激光直写光刻机 [P].

郝春宁 ;

徐文东 ;

范永涛 ;

刘前 .

中国专利 :CN102495534B ,2012-06-13

[6]

一种小型激光直写光刻机 [P].

李春 ;

李智斌 ;

兰长勇 ;

周智飞 ;

何天应 .

中国专利 :CN108681210A ,2018-10-19

[7]

主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机 [P].

莫阳 .

中国专利 :CN106773538A ,2017-05-31

[8]

量产型激光直写光刻机及其控制方法 [P].

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN113031404A ,2021-06-25

[9]

一种激光直写光刻机长辊式压板机构 [P].

刘红现 ;

项宗齐 ;

陈东 .

中国专利 :CN112764322B ,2021-05-07

[10]

基于激光直写光刻机制备光子晶体的方法 [P].

韦联福 ;

刘洋 ;

欧阳鹏辉 ;

和穗荣 ;

王翼卓 ;

李玉芬 ;

柳红英 .

中国专利 :CN115047724A ,2022-09-13

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