激光直写光刻机的可抽出上掀式台框机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421386781.8

申请日：

2024-06-18

公开(公告)号：

CN222529647U

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

刘保华徐小龙管燕彬

申请人：

苏州建高远微电子设备科技有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇元丰路232号4号房

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

昆明合众智信知识产权事务所 53113

代理人：

周家乐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

激光直写光刻机 [P].

刘杨 ;

周俊晨 .

中国专利 :CN309205097S ,2025-03-28

[2]

激光直写光刻机台框开合机构 [P].

刘保华 .

中国专利 :CN118707814A ,2024-09-27

[3]

激光直写光刻机台框开合机构 [P].

刘保华 .

中国专利 :CN118707814B ,2025-02-07

[4]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[5]

振镜式激光直写光刻机 [P].

郝春宁 ;

徐文东 ;

范永涛 ;

刘前 .

中国专利 :CN102495534B ,2012-06-13

[6]

一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机 [P].

王新旺 ;

刘涛 ;

杨振玲 .

中国专利 :CN206057793U ,2017-03-29

[7]

一种小型激光直写光刻机 [P].

李春 ;

李智斌 ;

兰长勇 ;

周智飞 ;

何天应 .

中国专利 :CN108681210A ,2018-10-19

[8]

主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机 [P].

莫阳 .

中国专利 :CN106773538A ,2017-05-31

[9]

一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构及直写式光刻机 [P].

王昱山 ;

刘涛 ;

马强 .

中国专利 :CN206057794U ,2017-03-29

[10]

量产型激光直写光刻机及其控制方法 [P].

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN113031404A ,2021-06-25

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