真空镀膜装载装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120299261.X
申请日
2011-08-17
公开(公告)号
CN202226909U
公开(公告)日
2012-05-23
发明(设计)人
王春林
申请人
申请人地址
161005 黑龙江省齐齐哈尔市龙沙区江安街道纸厂二社区66组
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
C23C1450
代理机构
北京汇信合知识产权代理有限公司 11335
代理人
王维新
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
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