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真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010676902.2
申请日：
2020-07-14
公开(公告)号：
CN111962039B
公开(公告)日：
2020-11-20
发明(设计)人：
徐文涛
陈晨
李王俊
孙健
周剑
刘亚南
申请人：
申请人地址：
215200 江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
刘宁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20200714 |
| 2020-11-20 | 公开 | 公开 |
| 2023-02-03 | 授权 | 授权 |