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真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811595488.1
申请日：
2018-12-25
公开(公告)号：
CN109468611B
公开(公告)日：
2019-03-15
发明(设计)人：
赵斌
申请人：
申请人地址：
523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区南山路1号中集智谷13号楼02户2楼01
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
深圳中细软知识产权代理有限公司 44528
代理人：
仉玉新
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-15 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20181225 |
| 2019-10-25 | 授权 | 授权 |