真空镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN00212144.1

申请日：

2000-06-07

公开(公告)号：

CN2422291Y

公开(公告)日：

2001-03-07

发明(设计)人：

黄文符张国栋

申请人：

申请人地址：

110003辽宁省沈阳市和平区三好街96号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

中国科学院沈阳专利事务所

代理人：

朱光林;周秀梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2001-03-07	授权	授权
2004-08-04	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止

共 50 条

[1]

真空镀膜装置 [P].

王洪学 ;

魏江江 ;

尹晓芳 ;

王子墨 .

中国专利 :CN119571263A ,2025-03-07

[2]

真空镀膜装置 [P].

赵斌 .

中国专利 :CN109468611B ,2019-03-15

[3]

真空镀膜装置及其真空镀膜方法 [P].

熊丹 .

中国专利 :CN104120399A ,2014-10-29

[4]

真空镀膜夹具及真空镀膜装置 [P].

张杰 ;

李标章 ;

黄裕祥 .

中国专利 :CN215713345U ,2022-02-01

[5]

连续真空镀膜装置 [P].

汪友林 .

中国专利 :CN201648512U ,2010-11-24

[6]

真空镀膜装置及镀膜系统 [P].

王君 ;

汪友林 ;

郭爱云 .

中国专利 :CN208844190U ,2019-05-10

[7]

真空镀膜计算机控制装置 [P].

张国栋 .

中国专利 :CN1327082A ,2001-12-19

[8]

真空镀膜装置及镀膜方法 [P].

王君 .

中国专利 :CN104894522A ,2015-09-09

[9]

真空镀膜装置 [P].

徐文涛 ;

陈晨 ;

李王俊 ;

孙健 ;

周剑 ;

刘亚南 .

中国专利 :CN111962039B ,2020-11-20

[10]

真空镀膜装置 [P].

程宗文 .

中国专利 :CN202170361U ,2012-03-21

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