机械手臂清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120571995.9

申请日：

2011-12-30

公开(公告)号：

CN202398571U

公开(公告)日：

2012-08-29

发明(设计)人：

董明彭利吕祥飞邵业明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B08B502

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 5/02 申请日:20111230 授权公告日:20120829 终止日期:20181230
2012-08-29	授权	授权
2013-05-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101591214302 IPC(主分类):B08B 5/02 专利号:ZL2011205719959 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130424

共 50 条

[1]

机械手臂及晶圆清洗装置 [P].

丁洋 ;

陈章晏 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981195U ,2020-01-21

[2]

机械手臂 [P].

周冠鸿 ;

赵永政 ;

陈兴华 ;

莫玉麟 .

中国专利 :CN209409223U ,2019-09-20

[3]

隧道清洗无间隙机械手臂 [P].

李国栋 ;

岳鹏 ;

陈谦亮 ;

刘庆胜 ;

闫志长 ;

畅根旺 ;

赵之涵 ;

常小雅 ;

高利平 .

中国专利 :CN215289862U ,2021-12-24

[4]

机械手臂改良装置 [P].

施太郎 ;

林遂铭 .

中国专利 :CN203792356U ,2014-08-27

[5]

机械手臂装置 [P].

蒋剑 ;

司马斌 .

中国专利 :CN216464711U ,2022-05-10

[6]

具有激光清洗功能的机械手臂 [P].

夏旭东 .

中国专利 :CN204159588U ,2015-02-18

[7]

叉车机械手臂 [P].

张廷廷 .

中国专利 :CN221253790U ,2024-07-02

[8]

机械手臂辅助装置及机械手臂系统 [P].

卫金荣 ;

邵业明 ;

张伟 ;

倪尧 .

中国专利 :CN204397909U ,2015-06-17

[9]

硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置 [P].

任少军 .

中国专利 :CN210956630U ,2020-07-07

[10]

机械手臂 [P].

刘明贵 .

中国专利 :CN205043798U ,2016-02-24

← 1 2 3 4 5 →