机械手臂及晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920961459.6

申请日：

2019-06-24

公开(公告)号：

CN209981195U

公开(公告)日：

2020-01-21

发明(设计)人：

丁洋陈章晏颜超仁

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677 H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-21	授权	授权

共 50 条

[1]

传送晶圆的机械手臂及晶圆清洗装置 [P].

蔡奉儒 ;

董学儒 .

中国专利 :CN112309825A ,2021-02-02

[2]

机械手臂及晶圆处理装置 [P].

夏威 ;

韩斌 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210633703U ,2020-05-29

[3]

机械手臂及晶圆处理设备 [P].

周亚勇 ;

陈伏宏 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496828U ,2019-10-15

[4]

吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位 [P].

张琪 ;

符友银 ;

杨光华 ;

曾庆毫 .

中国专利 :CN121123105A ,2025-12-12

[5]

机械手臂清洗装置 [P].

董明 ;

彭利 ;

吕祥飞 ;

邵业明 .

中国专利 :CN202398571U ,2012-08-29

[6]

机械手臂 [P].

王磊 ;

周冬成 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208663864U ,2019-03-29

[7]

机械手臂 [P].

刘大威 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

薛超 .

中国专利 :CN208954962U ,2019-06-07

[8]

机械手臂 [P].

刘希飞 ;

阚保国 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207669319U ,2018-07-31

[9]

机械手臂 [P].

颜一鸣 ;

李俊杰 .

中国专利 :CN208841449U ,2019-05-10

[10]

机械手臂 [P].

薛荣华 ;

阚保国 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208663800U ,2019-03-29

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