一种Ta/Mo双层膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910301113.8

申请日：

2019-04-15

公开(公告)号：

CN110172676A

公开(公告)日：

2019-08-27

发明(设计)人：

章嵩郭力铜涂溶王传彬沈强张联盟

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1416

代理机构：

湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102

代理人：

崔友明;李欣荣

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20190827
2019-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190415
2019-08-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双层膜及其制备方法 [P].

孟兴 ;

曹建苹 ;

黄美艳 .

中国专利 :CN107043557B ,2017-08-15

[2]

一种双层膜及其制备方法 [P].

曹建苹 ;

孟兴 ;

黄美艳 ;

孙凌 ;

古月文志 .

中国专利 :CN107056086A ,2017-08-18

[3]

一种Mo-Ta-W难熔高熵合金薄膜及其制备方法 [P].

梁秀兵 ;

张毅勇 ;

张志彬 ;

胡振峰 ;

何鹏飞 ;

王鑫 .

中国专利 :CN114015996B ,2024-02-09

[4]

一种Mo-Ta-W难熔高熵合金薄膜及其制备方法 [P].

梁秀兵 ;

张毅勇 ;

张志彬 ;

胡振峰 ;

何鹏飞 ;

王鑫 .

中国专利 :CN114015996A ,2022-02-08

[5]

一种Zr/Mo金属多层膜及其制备方法 [P].

侯兆琪 ;

王涛 ;

王彩霞 ;

王佩佩 ;

赵莹莹 .

中国专利 :CN115928028B ,2025-10-21

[6]

Fe/Mo纳米多层膜及其制备方法 [P].

王海斗 ;

刘家浚 ;

徐滨士 .

中国专利 :CN100532632C ,2008-02-20

[7]

一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法 [P].

王铁钢 ;

蒙德强 ;

刘艳梅 ;

阎兵 ;

许人仁 ;

尹照星 .

中国专利 :CN110607499A ,2019-12-24

[8]

一种Ta-DLC复合涂层材料及其制备方法 [P].

王静静 ;

李俊豪 ;

李伟 ;

李东昕 ;

胡月 .

中国专利 :CN117599262A ,2024-02-27

[9]

一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196938A ,2022-03-18

[10]

一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196938B ,2024-02-20

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