一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910897038.6
申请日
2019-09-23
公开(公告)号
CN110607499A
公开(公告)日
2019-12-24
发明(设计)人
王铁钢 蒙德强 刘艳梅 阎兵 许人仁 尹照星
申请人
申请人地址
300222 天津市津南区大沽南路1310号
IPC主分类号
C23C1406
IPC分类号
C23C1435 C23C1402
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法 [P]. 
王铁钢 ;
蒙德强 ;
刘艳梅 ;
阎兵 ;
许人仁 ;
尹照星 .
中国专利 :CN112501553B ,2021-03-16
[2]
一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法 [P]. 
王铁钢 ;
蒙德强 ;
刘艳梅 ;
阎兵 ;
尹照星 ;
许人仁 .
中国专利 :CN110453190A ,2019-11-15
[3]
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汪唯 ;
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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顾明道 ;
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杜明 ;
张健 .
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[9]
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[10]
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