一种DLC自润滑薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311568696.3

申请日：

2023-11-23

公开(公告)号：

CN117587407A

公开(公告)日：

2024-02-23

发明(设计)人：

吕文泉周峰吕哲馨张远航蔡美荣胡海龙

申请人：

中国科学院兰州化学物理研究所

申请人地址：

730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号

IPC主分类号：

C23C28/04

IPC分类号：

C23C14/48 C23C14/06 C23C14/32 C23C16/26 C23C16/50 C23C14/02

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

黄明光

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 28/04申请日:20231123
2024-02-23	公开	公开

共 50 条

[1]

Ag、Ti共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

周飞 ;

王谦之 ;

付俊兴 .

中国专利 :CN102817008B ,2012-12-12

[2]

一种低应力类金刚石多层薄膜及其制备方法 [P].

许伟 ;

周克崧 ;

林松盛 ;

代明江 ;

石倩 ;

韦春贝 .

中国专利 :CN108754450A ,2018-11-06

[3]

一种耐高温导热类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

向青云 ;

杜重洋 ;

王永康 ;

李武 ;

王健强 ;

李松 ;

王乃帅 .

中国专利 :CN117966089A ,2024-05-03

[4]

一种基于闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备梯度Ti-DLC复合自润滑薄膜的方法 [P].

闫牧夫 ;

张诗东 ;

张雁祥 ;

闫扶摇 .

中国专利 :CN118166324A ,2024-06-11

[5]

一种共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756846A ,2017-05-31

[6]

载能离化原子团束辅助化学气相沉积制备DLC薄膜的方法及其系统 [P].

陈益钢 ;

黄凯 ;

秦文斌 ;

陈安瑞 .

中国专利 :CN107541713A ,2018-01-05

[7]

一种TiC/DLC多层薄膜的沉积方法 [P].

马占吉 ;

赵栋才 ;

武生虎 ;

肖更竭 ;

任妮 .

中国专利 :CN101597745A ,2009-12-09

[8]

一种利用PECVD技术在球墨铸铁表面实现低温制备DLC薄膜的方法 [P].

李赛 ;

李旭 ;

陈东旭 ;

杨利 ;

周艳文 .

中国专利 :CN118390022A ,2024-07-26

[9]

超润滑掺硅类金刚石薄膜的制备方法 [P].

陈建敏 ;

赵飞 ;

周惠娣 ;

李红轩 ;

吉利 .

中国专利 :CN101619455A ,2010-01-06

[10]

一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法 [P].

成艳 ;

魏世成 ;

褚颖 ;

郑玉峰 .

中国专利 :CN101886252A ,2010-11-17

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