一种利用PECVD技术在球墨铸铁表面实现低温制备DLC薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310326068.8

申请日：

2023-03-30

公开(公告)号：

CN118390022A

公开(公告)日：

2024-07-26

发明(设计)人：

李赛李旭陈东旭杨利周艳文

申请人：

辽宁科技大学

申请人地址：

114051 辽宁省鞍山市立山区千山中路189号

IPC主分类号：

C23C16/26

IPC分类号：

C23C16/50

代理机构：

鞍山顺程商标专利代理事务所(普通合伙) 21246

代理人：

卢锡成

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-26	公开	公开
2024-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/26申请日:20230330

共 50 条

[1]

一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法 [P].

成艳 ;

魏世成 ;

褚颖 ;

郑玉峰 .

中国专利 :CN101886252A ,2010-11-17

[2]

一种DLC自润滑薄膜及其制备方法 [P].

吕文泉 ;

周峰 ;

吕哲馨 ;

张远航 ;

蔡美荣 ;

胡海龙 .

中国专利 :CN117587407A ,2024-02-23

[3]

一种铜表面DLC膜层制备方法 [P].

田修波 ;

靳朋礼 ;

巩春志 .

中国专利 :CN115627457A ,2023-01-20

[4]

一种铜表面DLC膜层制备方法 [P].

田修波 ;

靳朋礼 ;

巩春志 .

中国专利 :CN115627457B ,2024-04-23

[5]

在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法 [P].

张俊彦 ;

张斌 ;

杨涛 ;

强力 ;

郑愉 .

中国专利 :CN103160794A ,2013-06-19

[6]

一种磁控溅射低温制备DLC薄膜的方法 [P].

李刚 ;

吕起鹏 ;

王锋 ;

公发全 ;

邓淞文 ;

孙龙 ;

金玉奇 .

中国专利 :CN105714256A ,2016-06-29

[7]

一种在基材表面制备DLC薄膜的方法 [P].

李慕勤 ;

孙薇薇 ;

吴明忠 ;

马臣 ;

吴俊杰 ;

张德秋 .

中国专利 :CN104278246A ,2015-01-14

[8]

一种采用PECVD技术制备无机透明超疏水薄膜的方法 [P].

姜礼华 ;

侯萍萍 ;

韩梦梦 ;

何思妙 ;

向鹏 ;

肖婷 ;

杨雄波 ;

谭新玉 .

中国专利 :CN113373427B ,2021-09-10

[9]

在钛合金表面制备减摩抗磨F‑DLC薄膜的方法 [P].

王军军 ;

王林青 ;

黄伟九 ;

马建军 ;

何浩然 .

中国专利 :CN106498362A ,2017-03-15

[10]

一种低温渗硼的球墨铸铁耐磨表面制备方法 [P].

张东亚 ;

孙喜洲 ;

高峰 ;

李艳 ;

孔令飞 ;

税琳棋 .

中国专利 :CN111979513B ,2020-11-24

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