一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010246958.0

申请日：

2010-08-06

公开(公告)号：

CN101886252A

公开(公告)日：

2010-11-17

发明(设计)人：

成艳魏世成褚颖郑玉峰

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16513 G02B104 G02B110

代理机构：

北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360

代理人：

贾晓玲

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101459028700 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2010102469580 申请公布日:20101117
2010-11-17	公开	公开
2010-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101028083637 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2010102469580 申请日:20100806

共 50 条

[1]

一种利用PECVD技术在球墨铸铁表面实现低温制备DLC薄膜的方法 [P].

李赛 ;

李旭 ;

陈东旭 ;

杨利 ;

周艳文 .

中国专利 :CN118390022A ,2024-07-26

[2]

不锈钢基底上沉积类金刚石碳薄膜的方法 [P].

张俊彦 ;

王舟 ;

王成兵 ;

王琦 .

中国专利 :CN101469408A ,2009-07-01

[3]

一种低温沉积硬度可控的类金刚石复合薄膜的方法 [P].

苏峰华 ;

陈国富 .

中国专利 :CN108396306A ,2018-08-14

[4]

一种DLC自润滑薄膜及其制备方法 [P].

吕文泉 ;

周峰 ;

吕哲馨 ;

张远航 ;

蔡美荣 ;

胡海龙 .

中国专利 :CN117587407A ,2024-02-23

[5]

一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法 [P].

蔺增 ;

彭勃 ;

巴德纯 .

中国专利 :CN1804665A ,2006-07-19

[6]

高速沉积优质本征微晶硅薄膜的制备方法 [P].

耿新华 ;

韩晓艳 ;

侯国付 ;

张晓丹 ;

张德坤 ;

魏长春 ;

孙建 ;

赵颖 ;

薛俊明 ;

张建军 .

中国专利 :CN101315958A ,2008-12-03

[7]

一种低应力、耐腐蚀的多层类金刚石(DLC)薄膜的沉积方法 [P].

冷永祥 ;

张腾飞 ;

孙鸿 ;

黄楠 .

中国专利 :CN103938211A ,2014-07-23

[8]

一种采用PECVD技术制备无机透明超疏水薄膜的方法 [P].

姜礼华 ;

侯萍萍 ;

韩梦梦 ;

何思妙 ;

向鹏 ;

肖婷 ;

杨雄波 ;

谭新玉 .

中国专利 :CN113373427B ,2021-09-10

[9]

一种TiC/DLC多层薄膜的沉积方法 [P].

马占吉 ;

赵栋才 ;

武生虎 ;

肖更竭 ;

任妮 .

中国专利 :CN101597745A ,2009-12-09

[10]

在不锈钢上制备薄膜的方法 [P].

张俊彦 ;

王舟 ;

宋仕永 ;

张斌 .

中国专利 :CN101768724B ,2010-07-07

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