Ag、Ti共掺杂DLC薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210271357.4

申请日：

2012-08-01

公开(公告)号：

CN102817008B

公开(公告)日：

2012-12-12

发明(设计)人：

周飞王谦之付俊兴

申请人：

申请人地址：

210016 江苏省南京市御道街29号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

曹翠珍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-12	公开	公开
2014-07-02	授权	授权
2020-07-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20120801 授权公告日:20140702 终止日期:20190801
2013-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101389922683 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2012102713574 申请日:20120801

共 50 条

[1]

一种共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756846A ,2017-05-31

[2]

一种DLC自润滑薄膜及其制备方法 [P].

吕文泉 ;

周峰 ;

吕哲馨 ;

张远航 ;

蔡美荣 ;

胡海龙 .

中国专利 :CN117587407A ,2024-02-23

[3]

载能离化原子团束辅助化学气相沉积制备DLC薄膜的方法及其系统 [P].

陈益钢 ;

黄凯 ;

秦文斌 ;

陈安瑞 .

中国专利 :CN107541713A ,2018-01-05

[4]

一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

金克武 ;

王天齐 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107686972A ,2018-02-13

[5]

一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法 [P].

梁献文 ;

苏东艺 ;

黄现章 ;

杜日昇 .

中国专利 :CN113913735B ,2022-01-11

[6]

钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用 [P].

江晓红 ;

肖金涛 ;

何纯 .

中国专利 :CN109423605A ,2019-03-05

[7]

共掺杂透明导电薄膜的制备方法 [P].

马洪芳 ;

马芳 ;

刘志宝 ;

刘文斐 .

中国专利 :CN102877049A ,2013-01-16

[8]

一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN108085642A ,2018-05-29

[9]

一种掺杂Cr的DLC涂层的制备方法 [P].

唐坤 ;

王广欣 ;

朱宇杰 ;

孙浩亮 ;

海茵茨罗尔夫斯托克 .

中国专利 :CN110306153A ,2019-10-08

[10]

一种高透、高阻、高硬度共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

李刚 ;

彭塞奥 .

中国专利 :CN112899631A ,2021-06-04

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