一种共掺杂DLC薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611188594.9

申请日：

2016-12-21

公开(公告)号：

CN106756846A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

沈洪雪甘治平李刚姚婷婷杨勇金克武

申请人：

申请人地址：

233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113

代理人：

杨晋弘

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2020-02-18	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20170531
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729304838 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016111885949 申请日:20161221

共 50 条

[1]

Ag、Ti共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

周飞 ;

王谦之 ;

付俊兴 .

中国专利 :CN102817008B ,2012-12-12

[2]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756847B ,2017-05-31

[3]

一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

金克武 ;

王天齐 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107686972A ,2018-02-13

[4]

一种利用粒子束调控技术制备多孔掺杂类金刚石薄膜的方法 [P].

张旭 ;

周晗 ;

吴先映 ;

廖斌 ;

英敏菊 .

中国专利 :CN105779965A ,2016-07-20

[5]

一种DLC自润滑薄膜及其制备方法 [P].

吕文泉 ;

周峰 ;

吕哲馨 ;

张远航 ;

蔡美荣 ;

胡海龙 .

中国专利 :CN117587407A ,2024-02-23

[6]

一种可作为滑动元件表层涂层的氮掺杂DLC膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756845A ,2017-05-31

[7]

一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN108085642A ,2018-05-29

[8]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108707865A ,2018-10-26

[9]

共掺杂透明导电薄膜的制备方法 [P].

马洪芳 ;

马芳 ;

刘志宝 ;

刘文斐 .

中国专利 :CN102877049A ,2013-01-16

[10]

一种金属硫化物掺杂类金刚石复合薄膜的制备方法 [P].

岳文 ;

王松 ;

付志强 ;

王成彪 ;

于翔 ;

彭志坚 .

中国专利 :CN102994964A ,2013-03-27

← 1 2 3 4 5 →