一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710800552.4

申请日：

2017-09-07

公开(公告)号：

CN107686972A

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

彭寿沈洪雪金克武王天齐甘治平李刚姚婷婷杨勇

申请人：

申请人地址：

233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435 C23C1406

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113

代理人：

尹杰

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-05	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20180213
2018-02-13	公开	公开
2018-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170907

共 50 条

[1]

一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN108085642A ,2018-05-29

[2]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756847B ,2017-05-31

[3]

一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法 [P].

朱雨 ;

包国文 ;

袁梅 ;

严肃静 ;

范永娴 .

中国专利 :CN110760815A ,2020-02-07

[4]

一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

孙丽丽 ;

汪爱英 ;

李晓伟 ;

徐胜 ;

王骏 ;

郭鹏 .

中国专利 :CN104947037B ,2015-09-30

[5]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108707865A ,2018-10-26

[6]

一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN109825808A ,2019-05-31

[7]

一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN109825808B ,2024-05-24

[8]

一种硼掺杂类金刚石薄膜电极的制备方法 [P].

汪爱英 ;

周凯 ;

张栋 ;

邹友生 ;

郭鹏 ;

柯培玲 .

中国专利 :CN103572237B ,2014-02-12

[9]

一种金属钛掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

朱得菊 ;

吴德生 ;

陈立 .

中国专利 :CN107419228B ,2017-12-01

[10]

掺杂类金刚石与油脂复合润滑薄膜的制备方法 [P].

石雷 ;

刘维民 .

中国专利 :CN102477540A ,2012-05-30

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