一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510292141.X

申请日：

2015-05-30

公开(公告)号：

CN104947037B

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

孙丽丽汪爱英李晓伟徐胜王骏郭鹏

申请人：

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1422

代理机构：

北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489

代理人：

郭晓华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	公开	公开
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631735361 IPC(主分类):C23C 14/06 专利申请号:201510292141X 申请日:20150530

共 50 条

[1]

一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法 [P].

朱雨 ;

包国文 ;

袁梅 ;

严肃静 ;

范永娴 .

中国专利 :CN110760815A ,2020-02-07

[2]

一种金属钛掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

朱得菊 ;

吴德生 ;

陈立 .

中国专利 :CN107419228B ,2017-12-01

[3]

一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN109825808A ,2019-05-31

[4]

一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

金克武 ;

王天齐 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107686972A ,2018-02-13

[5]

一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN109825808B ,2024-05-24

[6]

一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

杜昊 ;

阮一鸣 ;

施杰 ;

陈云 ;

胡恒宁 ;

谢明强 .

中国专利 :CN117403198A ,2024-01-16

[7]

一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

陈立 ;

吴德生 ;

朱得菊 .

中国专利 :CN107502860A ,2017-12-22

[8]

一种硼掺杂类金刚石薄膜电极的制备方法 [P].

汪爱英 ;

周凯 ;

张栋 ;

邹友生 ;

郭鹏 ;

柯培玲 .

中国专利 :CN103572237B ,2014-02-12

[9]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108707865A ,2018-10-26

[10]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756847B ,2017-05-31

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