一种硼掺杂类金刚石薄膜电极的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310568131.5

申请日：

2013-11-14

公开(公告)号：

CN103572237B

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

汪爱英周凯张栋邹友生郭鹏柯培玲

申请人：

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406 G01N2730

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

单英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578340453 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2013105681315 申请日:20131114
2015-12-30	授权	授权
2017-07-11	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754986523 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2013105681315 登记生效日:20170621 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所变更后权利人:安徽浩天新能源科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号变更后权利人:242000 安徽省宣城市宣城经济技术开发区科技园(景德路2号)
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法 [P].

朱雨 ;

包国文 ;

袁梅 ;

严肃静 ;

范永娴 .

中国专利 :CN110760815A ,2020-02-07

[2]

一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

孙丽丽 ;

汪爱英 ;

李晓伟 ;

徐胜 ;

王骏 ;

郭鹏 .

中国专利 :CN104947037B ,2015-09-30

[3]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108707865A ,2018-10-26

[4]

一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

金克武 ;

王天齐 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107686972A ,2018-02-13

[5]

一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN109825808A ,2019-05-31

[6]

一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN109825808B ,2024-05-24

[7]

一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极 [P].

许世鹏 ;

陈维铅 ;

李玉宏 .

中国专利 :CN209923422U ,2020-01-10

[8]

一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756847B ,2017-05-31

[9]

一种金属钛掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

朱得菊 ;

吴德生 ;

陈立 .

中国专利 :CN107419228B ,2017-12-01

[10]

掺杂类金刚石与油脂复合润滑薄膜的制备方法 [P].

石雷 ;

刘维民 .

中国专利 :CN102477540A ,2012-05-30

← 1 2 3 4 5 →