一种高透、高阻、高硬度共掺杂DLC薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110109552.6

申请日：

2021-01-27

公开(公告)号：

CN112899631A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

沈洪雪姚婷婷李刚彭塞奥

申请人：

申请人地址：

233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113

代理人：

陈俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	公开	公开
2022-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20210127

共 50 条

[1]

一种高透、高阻、高硬度共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

李刚 ;

彭塞奥 .

中国专利 :CN112899631B ,2024-01-23

[2]

一种共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756846A ,2017-05-31

[3]

Ag、Ti共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

周飞 ;

王谦之 ;

付俊兴 .

中国专利 :CN102817008B ,2012-12-12

[4]

一种高硬度四元难熔高熵合金薄膜的制备方法 [P].

宋忠孝 ;

宋宝睿 ;

从中浩 ;

李雁淮 ;

陈坚 ;

高波 .

中国专利 :CN108796444A ,2018-11-13

[5]

一种高透薄膜的制备方法 [P].

陈路玉 .

中国专利 :CN103643208A ,2014-03-19

[6]

一种增透高透薄膜及其制备方法 [P].

王天齐 ;

金克武 ;

彭塞奥 ;

王金磊 ;

姚婷婷 ;

李刚 .

中国专利 :CN119144925A ,2024-12-17

[7]

一种Al、Mn共掺杂ZnO薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 ;

李刚 .

中国专利 :CN108165940A ,2018-06-15

[8]

一种高硬度高反射率碳化铪薄膜及其制备方法 [P].

梁秀兵 ;

胡振峰 ;

井致远 ;

张志彬 ;

何鹏飞 ;

孙川 ;

王荣 ;

邢悦 ;

吴蒙恩 .

中国专利 :CN119121166B ,2025-11-28

[9]

一种高硬度高反射率碳化铪薄膜及其制备方法 [P].

梁秀兵 ;

胡振峰 ;

井致远 ;

张志彬 ;

何鹏飞 ;

孙川 ;

王荣 ;

邢悦 ;

吴蒙恩 .

中国专利 :CN119121166A ,2024-12-13

[10]

一种高硬度含氢类金刚石（DLC）薄膜及其制备方法 [P].

汪科良 ;

张凯锋 ;

周晖 ;

郝宏 ;

历键 ;

郑玉刚 .

中国专利 :CN118880228A ,2024-11-01

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