一种Al、Mn共掺杂ZnO薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711415330.7

申请日：

2017-12-25

公开(公告)号：

CN108165940A

公开(公告)日：

2018-06-15

发明(设计)人：

彭寿沈洪雪倪嘉姚婷婷杨勇金克武李刚

申请人：

申请人地址：

233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113

代理人：

陈俊

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20180615
2018-06-15	公开	公开
2018-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20171225

共 50 条

[1]

一种Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108396298A ,2018-08-14

[2]

一种B和N共掺杂ZnO薄膜的制备方法 [P].

孙慧卿 ;

邓贝 ;

王雨田 ;

郭志友 ;

陈鹏 ;

孔利平 .

中国专利 :CN101760726B ,2010-06-30

[3]

一种金属掺杂ZnO薄膜的制备方法 [P].

言智 ;

张恩霞 ;

周细应 ;

何佳 ;

于治水 .

中国专利 :CN101403099A ,2009-04-08

[4]

一种非补偿n-p共掺杂的ZnO薄膜及其制备方法 [P].

江凤仙 ;

仝瑞雪 ;

许小红 ;

纪丽飞 ;

周国伟 .

中国专利 :CN106435476B ,2017-02-22

[5]

一种 ZnO/Al/ZnO光电透明导电薄膜的沉积制备方法 [P].

张铁岩 ;

赵琰 ;

张东 ;

赵志刚 ;

张晓慧 ;

李昱材 ;

邓玮 .

中国专利 :CN103031556A ,2013-04-10

[6]

一种Na掺杂p型ZnO薄膜的制备方法 [P].

叶志镇 ;

刘慧斌 ;

黄靖云 ;

何海平 ;

张银珠 ;

卢洋藩 ;

蒋杰 ;

李洋 ;

潘新花 .

中国专利 :CN102373425B ,2012-03-14

[7]

一种氮掺杂p型ZnO薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

葛莹莹 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108149196A ,2018-06-12

[8]

一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

金克武 ;

王天齐 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107686972A ,2018-02-13

[9]

一种基于铒、氟共掺杂ZnO薄膜的电致发光器件及制备方法 [P].

马向阳 ;

陈金鑫 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN109509819A ,2019-03-22

[10]

一种高透、高阻、高硬度共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

李刚 ;

彭塞奥 .

中国专利 :CN112899631A ,2021-06-04

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