一种 ZnO/Al/ZnO光电透明导电薄膜的沉积制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210576026.1

申请日：

2012-12-27

公开(公告)号：

CN103031556A

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

张铁岩赵琰张东赵志刚张晓慧李昱材邓玮

申请人：

申请人地址：

110136 辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号

IPC主分类号：

C23C2800

IPC分类号：

C23C1640 C23C1644 C23C1435 C23C1418 B32B1504 B32B904

代理机构：

沈阳东大专利代理有限公司 21109

代理人：

李运萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101452518950 IPC(主分类):C23C 28/00 专利申请号:2012105760261 申请日:20121227
2015-07-29	授权	授权
2013-04-10	公开	公开

共 50 条

[1]

Cu/ZnO/Al光电透明导电薄膜的沉积方法 [P].

鞠振河 ;

张东 ;

郑洪 ;

赵琰 ;

曲博 .

中国专利 :CN103014705B ,2013-04-03

[2]

Ag/ZnO/Mg光电透明导电薄膜的沉积方法 [P].

梁结平 .

中国专利 :CN106637204A ,2017-05-10

[3]

ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

宋佳 ;

李文英 ;

姜来新 ;

尹桂林 ;

余震 ;

何丹农 .

中国专利 :CN102277570A ,2011-12-14

[4]

原子层沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜的方法 [P].

宋佳 ;

姜来新 ;

牟海川 ;

尹桂林 ;

余震 ;

何丹农 .

中国专利 :CN102051594B ,2011-05-11

[5]

一种ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

廉吉庆 ;

张大伟 ;

王小平 ;

王丽军 ;

王兆芳 ;

宁仁敏 ;

宋明丽 ;

柯小龙 ;

陈海将 ;

苏德龙 ;

管璐璐 ;

林承军 .

中国专利 :CN105734512A ,2016-07-06

[6]

ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

李楠 ;

李旦 ;

水玲玲 ;

金名亮 ;

周国富 .

中国专利 :CN105603400A ,2016-05-25

[7]

一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法 [P].

王显威 ;

苏留辉 ;

胡艳春 ;

王小二 ;

侯新亚 .

中国专利 :CN104593758A ,2015-05-06

[8]

一种ZnO透明导电薄膜及其制备方法 [P].

朱秋华 .

中国专利 :CN107881470A ,2018-04-06

[9]

一种ZnO/BS/Cu/ZnO多层结构透明导电薄膜的制备方法 [P].

于仕辉 ;

赵乐 ;

刘荣闯 ;

李玲霞 ;

孙永涛 .

中国专利 :CN108517493A ,2018-09-11

[10]

MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法 [P].

孙小卫 ;

赵俊亮 .

中国专利 :CN102102193A ,2011-06-22

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