ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110239699.3

申请日：

2011-08-19

公开(公告)号：

CN102277570A

公开(公告)日：

2011-12-14

发明(设计)人：

宋佳李文英姜来新尹桂林余震何丹农

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

C23C2800

IPC分类号：

C23C1435 C23C1418 C23C1644 C23C1640

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司 31236

代理人：

郭国中

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-14	公开	公开
2012-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101177118248 IPC(主分类):C23C 28/00 专利申请号:2011102396993 申请日:20110819
2013-07-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101622824360 IPC(主分类):C23C 28/00 专利申请号:2011102396993 申请公布日:20111214

共 50 条

[1]

一种ZnO/BS/Cu/ZnO多层结构透明导电薄膜的制备方法 [P].

于仕辉 ;

赵乐 ;

刘荣闯 ;

李玲霞 ;

孙永涛 .

中国专利 :CN108517493A ,2018-09-11

[2]

Cu/ZnO/Al光电透明导电薄膜的沉积方法 [P].

鞠振河 ;

张东 ;

郑洪 ;

赵琰 ;

曲博 .

中国专利 :CN103014705B ,2013-04-03

[3]

一种ZnO透明导电薄膜及其制备方法 [P].

朱秋华 .

中国专利 :CN107881470A ,2018-04-06

[4]

原子层沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜的方法 [P].

宋佳 ;

姜来新 ;

牟海川 ;

尹桂林 ;

余震 ;

何丹农 .

中国专利 :CN102051594B ,2011-05-11

[5]

ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

李楠 ;

李旦 ;

水玲玲 ;

金名亮 ;

周国富 .

中国专利 :CN105603400A ,2016-05-25

[6]

一种ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

廉吉庆 ;

张大伟 ;

王小平 ;

王丽军 ;

王兆芳 ;

宁仁敏 ;

宋明丽 ;

柯小龙 ;

陈海将 ;

苏德龙 ;

管璐璐 ;

林承军 .

中国专利 :CN105734512A ,2016-07-06

[7]

MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法 [P].

孙小卫 ;

赵俊亮 .

中国专利 :CN102102193A ,2011-06-22

[8]

一种 ZnO/Al/ZnO光电透明导电薄膜的沉积制备方法 [P].

张铁岩 ;

赵琰 ;

张东 ;

赵志刚 ;

张晓慧 ;

李昱材 ;

邓玮 .

中国专利 :CN103031556A ,2013-04-10

[9]

一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法 [P].

王显威 ;

苏留辉 ;

胡艳春 ;

王小二 ;

侯新亚 .

中国专利 :CN104593758A ,2015-05-06

[10]

一种ZnO基透明导电薄膜的制备方法 [P].

谭劲 ;

钟爱华 ;

鄢维 ;

张玮 .

中国专利 :CN102330075A ,2012-01-25

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