一种ZnO透明导电薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711173710.4

申请日：

2017-11-22

公开(公告)号：

CN107881470A

公开(公告)日：

2018-04-06

发明(设计)人：

朱秋华

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区东北塘镇蓉阳村寺庄172号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1418

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

徐鹏飞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20171122
2018-04-06	公开	公开
2019-06-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/08 申请公布日:20180406

共 50 条

[1]

ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

宋佳 ;

李文英 ;

姜来新 ;

尹桂林 ;

余震 ;

何丹农 .

中国专利 :CN102277570A ,2011-12-14

[2]

一种ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

廉吉庆 ;

张大伟 ;

王小平 ;

王丽军 ;

王兆芳 ;

宁仁敏 ;

宋明丽 ;

柯小龙 ;

陈海将 ;

苏德龙 ;

管璐璐 ;

林承军 .

中国专利 :CN105734512A ,2016-07-06

[3]

ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

李楠 ;

李旦 ;

水玲玲 ;

金名亮 ;

周国富 .

中国专利 :CN105603400A ,2016-05-25

[4]

MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法 [P].

孙小卫 ;

赵俊亮 .

中国专利 :CN102102193A ,2011-06-22

[5]

一种ZnO基透明导电薄膜的制备方法 [P].

谭劲 ;

钟爱华 ;

鄢维 ;

张玮 .

中国专利 :CN102330075A ,2012-01-25

[6]

一种导电ZnO薄膜及其制备方法 [P].

陈志 ;

汪洁 ;

唐正 ;

马在飞 .

中国专利 :CN112645606A ,2021-04-13

[7]

一种 ZnO/Al/ZnO光电透明导电薄膜的沉积制备方法 [P].

张铁岩 ;

赵琰 ;

张东 ;

赵志刚 ;

张晓慧 ;

李昱材 ;

邓玮 .

中国专利 :CN103031556A ,2013-04-10

[8]

一种复合透明导电薄膜及其制备方法 [P].

陈港 ;

陈沐 .

中国专利 :CN119889809A ,2025-04-25

[9]

一种复合透明导电薄膜及其制备方法 [P].

陈港 ;

陈沐 .

中国专利 :CN119889809B ,2025-06-06

[10]

一种低成本ZnO透明导电薄膜的制备方法 [P].

王延峰 ;

杨富 ;

孟旭东 ;

韩冰 ;

王伟平 ;

李俊杰 .

中国专利 :CN113066900A ,2021-07-02

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