一种基于闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备梯度Ti-DLC复合自润滑薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410298613.1

申请日：

2024-03-15

公开(公告)号：

CN118166324A

公开(公告)日：

2024-06-11

发明(设计)人：

闫牧夫张诗东张雁祥闫扶摇

申请人：

哈尔滨工业大学

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/02 C23C14/16 C23C14/06 C23C14/54

代理机构：

哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司 23213

代理人：

侯静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山东省威海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240315
2024-06-11	公开	公开

共 28 条

[1]

一种非平衡磁控溅射离子镀磁场闭合状态控制方法 [P].

虞建忠 .

中国专利 :CN103834922A ,2014-06-04

[2]

一种闭合场非平衡磁控溅射制备铬铝氮薄膜的方法 [P].

许并社 ;

余春燕 ;

郭端阳 ;

张竹霞 ;

彭彦彬 .

中国专利 :CN101575696B ,2009-11-11

[3]

一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法 [P].

王铁钢 ;

蒙德强 ;

刘艳梅 ;

阎兵 ;

尹照星 ;

许人仁 .

中国专利 :CN110453190A ,2019-11-15

[4]

一种磁控溅射低温制备DLC薄膜的方法 [P].

李刚 ;

吕起鹏 ;

王锋 ;

公发全 ;

邓淞文 ;

孙龙 ;

金玉奇 .

中国专利 :CN105714256A ,2016-06-29

[5]

一种基于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层的方法 [P].

闫牧夫 ;

姚佳伟 ;

闫扶摇 ;

张雁祥 ;

陈宝凤 ;

朱磊 ;

杨莹 ;

龙邦篆 ;

徐跃明 .

中国专利 :CN113430485B ,2021-09-24

[6]

一种基于磁控溅射技术联合退火工艺制备金属复合电极的方法 [P].

王荣飞 ;

周志文 ;

杨宇 ;

杨杰 .

中国专利 :CN107994084A ,2018-05-04

[7]

一种基于高能脉冲磁控溅射技术的涂层制备方法 [P].

张春华 ;

白汝佳 ;

杨丁卯 ;

杨晓 ;

陈城发 ;

黄卫扬 .

中国专利 :CN120818800A ,2025-10-21

[8]

一种离子镀技术制备TiAlN涂层的颜色渐变控制方法 [P].

张心凤 ;

李灿民 ;

夏正卫 .

中国专利 :CN111593303A ,2020-08-28

[9]

一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法 [P].

范国栋 ;

程欢欢 ;

叶晓慧 .

中国专利 :CN106222616A ,2016-12-14

[10]

一种基于磁控溅射技术的高性能多层涂层及其制备方法 [P].

张春华 ;

白汝佳 ;

杨丁卯 ;

杨晓 ;

陈城发 ;

黄卫扬 .

中国专利 :CN120818799A ,2025-10-21