一种基于高能脉冲磁控溅射技术的涂层制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510747100.9

申请日：

2025-06-05

公开(公告)号：

CN120818800A

公开(公告)日：

2025-10-21

发明(设计)人：

张春华白汝佳杨丁卯杨晓陈城发黄卫扬

申请人：

广东仕诚塑料机械有限公司

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山科技工业园A区

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/16 C23C14/02 C23C14/06 C23C14/58

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

徐凯凯

法律状态：

公开

国省代码：

广东省揭阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-21	公开	公开
2025-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250605

共 50 条

[1]

一种直流耦合型高能脉冲磁控溅射方法 [P].

夏原 ;

高方圆 ;

李光 .

中国专利 :CN104451578A ,2015-03-25

[2]

一种基于磁控溅射技术的高性能多层涂层及其制备方法 [P].

张春华 ;

白汝佳 ;

杨丁卯 ;

杨晓 ;

陈城发 ;

黄卫扬 .

中国专利 :CN120818799A ,2025-10-21

[3]

基于脉冲磁控溅射的氮化铬多层纳米涂层及其制备方法 [P].

刘向力 ;

柏贺达 .

中国专利 :CN116426887B ,2025-07-29

[4]

一种调制高功率脉冲磁控溅射制备AlCrN涂层的方法 [P].

郑军 ;

周晖 ;

王启民 ;

贵宾华 ;

张延帅 .

中国专利 :CN106835036A ,2017-06-13

[5]

一种高能量脉冲式磁控溅射方法及磁控溅射装置 [P].

卢伟贤 ;

谢贯尧 ;

张忠祥 ;

易敏龙 ;

刘耀鸿 .

中国专利 :CN103938166A ,2014-07-23

[6]

一种高能脉冲磁控溅射联动装置 [P].

王艳江 ;

董鹏 ;

肖建军 ;

李军 .

中国专利 :CN120624999A ,2025-09-12

[7]

高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法 [P].

范其香 ;

王铁钢 ;

吴正环 ;

王政权 ;

刘艳梅 ;

张涛 .

中国专利 :CN107130222B ,2017-09-05

[8]

一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制备AlTiN硬质涂层的方法 [P].

周晖 ;

郑军 ;

王启民 ;

贵宾华 ;

张延帅 ;

杨拉毛草 ;

桑瑞鹏 ;

赵栋才 .

中国专利 :CN106868450A ,2017-06-20

[9]

一种基于磁控溅射技术的PCB板制备方法 [P].

李叶飞 ;

柳超 ;

付建云 .

中国专利 :CN106658982A ,2017-05-10

[10]

一种结合高功率脉冲磁控溅射技术的硒鼓制备方法 [P].

廖斌 ;

庞盼 ;

唐杰 ;

罗军 ;

陈琳 .

中国专利 :CN109735818A ,2019-05-10

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