基于脉冲磁控溅射的氮化铬多层纳米涂层及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310270697.3

申请日：

2023-03-15

公开(公告)号：

CN116426887B

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

刘向力柏贺达

申请人：

哈尔滨工业大学（深圳）

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/06 C23C14/16 C23C14/54

代理机构：

深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855

代理人：

覃迎峰

法律状态：

授权

国省代码：

山东省威海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法 [P].

范其香 ;

王铁钢 ;

吴正环 ;

王政权 ;

刘艳梅 ;

张涛 .

中国专利 :CN107130222B ,2017-09-05

[2]

一种基于高能脉冲磁控溅射技术的涂层制备方法 [P].

张春华 ;

白汝佳 ;

杨丁卯 ;

杨晓 ;

陈城发 ;

黄卫扬 .

中国专利 :CN120818800A ,2025-10-21

[3]

氮化铬/氮化硼钛纳米复合多层涂层刀具及其制备方法 [P].

闫少建 ;

田灿鑫 ;

杨兵 ;

付德君 .

中国专利 :CN103252939B ,2013-08-21

[4]

反应磁控溅射TiN/SiO2硬质纳米多层涂层的制备方法 [P].

孔明 ;

李戈扬 ;

刘艳 ;

戴嘉维 .

中国专利 :CN100424224C ,2007-01-03

[5]

氮化铬、氮化钛铝硬质多层纳米膜涂层 [P].

黄政树 ;

陈维熹 ;

黄海基 ;

徐健 .

中国专利 :CN101429641A ,2009-05-13

[6]

用于切削工具的TiN/AlON纳米多层涂层反应磁控溅射制备方法 [P].

孔明 ;

李戈扬 ;

戴嘉维 ;

黄碧龙 ;

吴莹 .

中国专利 :CN1924084A ,2007-03-07

[7]

一种基于磁控溅射技术的高性能多层涂层及其制备方法 [P].

张春华 ;

白汝佳 ;

杨丁卯 ;

杨晓 ;

陈城发 ;

黄卫扬 .

中国专利 :CN120818799A ,2025-10-21

[8]

铬-氮化铬复合涂层及其在纳米复合刀具的应用 [P].

王鸣 ;

陈刚 .

中国专利 :CN108950548A ,2018-12-07

[9]

基于微波技术制备氮化钛/氮化铬涂层的方法 [P].

楼白杨 .

中国专利 :CN103741133A ,2014-04-23

[10]

一种双相纳米多层氮化铬铝涂层及其沉积方法 [P].

李明升 ;

张迎 ;

张淑娟 ;

范永中 .

中国专利 :CN101717914B ,2010-06-02

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