超润滑掺硅类金刚石薄膜的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200810150286.6
申请日
2008-07-03
公开(公告)号
CN101619455A
公开(公告)日
2010-01-06
发明(设计)人
陈建敏 赵飞 周惠娣 李红轩 吉利
申请人
申请人地址
730000甘肃省兰州市城关区天水中路18号
IPC主分类号
C23C2800
IPC分类号
C23C1434 C23C1626
代理机构
兰州中科华西专利代理有限公司
代理人
方晓佳
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[4]
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[5]
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