一种含氢掺铝类金刚石薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710444712.6

申请日：

2017-06-13

公开(公告)号：

CN107267941A

公开(公告)日：

2017-10-20

发明(设计)人：

林松盛许伟代明江周克崧石倩侯惠君韦春贝李洪赵凤丽苏一凡

申请人：

申请人地址：

510651 广东省广州市天河区长兴路363号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406

代理机构：

广东世纪专利事务所 44216

代理人：

千知化

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20170613
2022-03-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20171020
2017-10-20	公开	公开

共 50 条

[1]

类金刚石薄膜制备方法 [P].

庄严 .

中国专利 :CN101319324A ,2008-12-10

[2]

超润滑掺硅类金刚石薄膜的制备方法 [P].

陈建敏 ;

赵飞 ;

周惠娣 ;

李红轩 ;

吉利 .

中国专利 :CN101619455A ,2010-01-06

[3]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[4]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[5]

类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

甄洪宾 .

中国专利 :CN102658684B ,2012-09-12

[6]

用于掺氟类金刚石薄膜的含氟润滑油及掺氟类金刚石薄膜的润滑方法 [P].

李津津 ;

陈金言 .

中国专利 :CN119490884A ,2025-02-21

[7]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[8]

含氢类金刚石碳薄膜材料的制备方法 [P].

吉利 ;

李红轩 ;

陈建敏 ;

周惠娣 ;

王永霞 ;

刘晓红 .

中国专利 :CN102453859A ,2012-05-16

[9]

类金刚石薄膜及制备方法 [P].

胡琅 ;

徐平 ;

侯立涛 ;

冯杰 ;

胡强 ;

吴猛 .

中国专利 :CN113529031A ,2021-10-22

[10]

制备类金刚石薄膜的装置 [P].

楼祺洪 ;

黄峰 ;

李铁军 ;

董景星 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN1266107A ,2000-09-13

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